Towards the implanting of ions and positioning of nanoparticles with nm spatial resolution

Erstveröffentlichung
2008Authors
Meijer, J.
Pezzagna, S.
Vogel, T.
Burchard, B.
Bukow, H. H.
Wissenschaftlicher Artikel
Published in
Applied Physics A: Materials Science and Processing ; 91 (2008), 4. - S. 567-571. - ISSN 0947-8396
Link to publication
https://dx.doi.org/10.1007/s00339-008-4515-1Faculties
Fakultät für NaturwissenschaftenInstitutions
Institut für Quanten - InformationsverarbeitungSubject headings
[Free subject headings]: single-photon source | diamond[DDC subject group]: DDC 530 / Physics