High resolution vacuum scanning thermal microscopy of HfO2 and SiO2

Erstveröffentlichung
2008Authors
Hinz, Michael
Marti, Othmar
Gotsmann, Bernd
Lantz, Mark A.
Dürig, Urs
Wissenschaftlicher Artikel
Published in
Applied Physics Letters ; 92 (2008), 4. - Art.-Nr. 043122. - ISSN 0003-6951. - eISSN 1077-3118
Link to publication
https://dx.doi.org/10.1063/1.2840186Faculties
Fakultät für NaturwissenschaftenInstitutions
Institut für Experimentelle PhysikSubject headings
[Free subject headings]: CONDUCTIVITY[DDC subject group]: DDC 530 / Physics