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High resolution vacuum scanning thermal microscopy of HfO2 and SiO2

Erstveröffentlichung
2008
Autoren
Hinz, Michael
Marti, Othmar
Gotsmann, Bernd
Lantz, Mark A.
Dürig, Urs
Wissenschaftlicher Artikel


Erschienen in
Applied Physics Letters ; 92 (2008), 4. - Art.-Nr. 043122. - ISSN 0003-6951. - eISSN 1077-3118
Link zur Veröffentlichung
https://dx.doi.org/10.1063/1.2840186
Fakultäten
Fakultät für Naturwissenschaften
Institutionen
Institut für Experimentelle Physik
Schlagwörter
[Freie Schlagwörter]: CONDUCTIVITY
[DDC Sachgruppe]: DDC 530 / Physics

Metadata
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