Non-Close-Packed Crystals from Self-Assembled Polystyrene Spheres by Isotropic Plasma Etching: Adding Flexibility to Colloid Lithography

Erstveröffentlichung
2009Autoren
Plettl, Alfred
Enderle, Fabian
Saitner, Marc
Manzke, Achim
Pfahler, Christian
Wissenschaftlicher Artikel
Erschienen in
Advanced Functional Materials ; 19 (2009), 20. - S. 3279-3284. - ISSN 1616-301X. - eISSN 1616-3028
Link zur Veröffentlichung
https://dx.doi.org/10.1002/adfm.200900907Fakultäten
Fakultät für NaturwissenschaftenInstitutionen
Institut für FestkörperphysikSchlagwörter
[Freie Schlagwörter]: NANOSPHERE LITHOGRAPHY | NANOWIRE ARRAYS | FABRICATION | NANOSTRUCTURES | SILICON | DENSITY | SIZE | NANOPARTICLE | TEMPLATES | SURFACES[DDC Sachgruppe]: DDC 530 / Physics | DDC 540 / Chemistry & allied sciences | DDC 620 / Engineering & allied operations