High-Quality ZnO Layers Grown by CVD on Sapphire Substrates with an AlN Nucleation Layer

Erstveröffentlichung
2020
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Wissenschaftlicher Artikel


Autoren
Müller, Raphael
Huber, Florian
Töws, Matthias
Mangold, Martin
Madel, Manfred
et al.
Fakultäten
Fakultät für Naturwissenschaften
Institutionen
Institut für Quantenmaterie
Institut für Funktionelle Nanosysteme
Erschienen in
Crystal Growth and Design ; 20 (2020), 6. - S. 3918-3926. - ISSN 1528-7483. - eISSN 1528-7505
Link zur Veröffentlichung
https://dx.doi.org/10.1021/acs.cgd.0c00242
Schlagwörter
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; MOLECULAR-BEAM EPITAXY; ZINC-OXIDE; THIN-FILMS; GAN; OPTIMIZATION; DEVICES; METHANE; TCO
DDC-Sachgruppe
DDC 500 / Natural sciences & mathematics
DDC 540 / Chemistry & allied sciences
DDC 620 / Engineering & allied operations
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