Gas phase silanization for silicon nanowire sensors and other lab-on-a-chip systems
Erstveröffentlichung
2016
Beitrag zu einer Konferenz
Published in
physica status solidi (c). - Weinheim : Wiley-VCH Verlag, 2016. - (Physica Status Solidi C-Current Topics in Solid State Physics ; 13). - S. 135-141. - ISSN 1862-6351
Link to publication
https://dx.doi.org/10.1002/pssc.201510211Faculties
Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Informatik und PsychologieFakultät für Naturwissenschaften
Institutions
Institut für Elektronische Bauelemente und SchaltungenInstitut für Analytische und Bioanalytische Chemie
Conference
E-MRS 2015 Fall Meeting / Symposium P on Electronic and Optical Nature of Silicon Nanostructures - Doping, Interface Effects and Strain, 2015-09-15 - 2015-09-18, Warsaw