Gas phase silanization for silicon nanowire sensors and other lab-on-a-chip systems
Beitrag zu einer Konferenz
Faculties
Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Informatik und PsychologieFakultät für Naturwissenschaften
Institutions
Institut für Elektronische Bauelemente und SchaltungenInstitut für Analytische und Bioanalytische Chemie
Published in
physica status solidi (c). - Weinheim : Wiley-VCH Verlag, 2016. - (Physica Status Solidi C-Current Topics in Solid State Physics ; 13). - S. 135-141. - ISSN 1862-6351
Link to publication
https://dx.doi.org/10.1002/pssc.201510211Conference
E-MRS 2015 Fall Meeting / Symposium P on Electronic and Optical Nature of Silicon Nanostructures - Doping, Interface Effects and Strain, 2015-09-15 - 2015-09-18, Warsaw